ليثوغرافيا فوق البنفسجية القصوى تقنية متقدمة في صناعة أشباه الموصلات، تستخدم أطوالاً موجية قصيرة جداً لطباعة أنماط دقيقة على رقائق السيليكون. تعد أساسية لإنتاج المعالجات والشرائح الحديثة ذات الكثافة العالية، وتتطلب أنظمة بصرية وفراغية ومصادر ضوء بالغة التعقيد. وتكشف هذه التقنية عن درجة الترابط بين الفيزياء والهندسة والصناعة العالمية للرقائق.
المصدر: موسوعة المعرفة
تم نسخ الرابط
من الموسوعــة