يمكن باستخدام مجهر التألق بالانعكاس الداخلي الكلي، المعروف اختصاراً باسم "تي آي آر إف إم"، رصد مناطق من العينة يقل حجمها عن ٢٠٠ نانومتر. وتكمن أهمية هذه التقنية في قدرتها على دراسة تفاصيل دقيقة جداً قرب سطح العينة، مما يجعلها مفيدة في الأبحاث التي تحتاج إلى مراقبة تراكيب أو تفاعلات صغيرة لا تظهر بوضوح في المجاهر التقليدية.
