الترسيب الكيميائي للبخار عملية كيميائية تستخدم لإنتاج مواد صلبة عالية النقاوة والأداء، ولا سيما الطبقات الرقيقة والمواد المستخدمة في أشباه الموصلات والأنابيب النانوية الكربونية. تقوم العملية على تعريض ركيزة ساخنة إلى مركبات طليعية متطايرة تتفاعل أو تتحلل على سطحها، فتتكون طبقة صلبة مرغوبة، بينما تزال النواتج الثانوية بتدفق غازي من حجرة التفاعل. تتنوع طرق الترسيب بحسب الضغط المستخدم أو شكل نقل البخار أو وجود البلازما، فمنها الترسيب عند الضغط الجوي أو المنخفض أو الفائق الانخفاض، ومنها الترسيب المدعوم بالرذاذ أو الحقن المباشر أو البلازما. وتكمن أهميته في القدرة على التحكم في سماكة الطبقات ونقاوتها وانتظامها، وهو أمر أساسي في صناعة الإلكترونيات الدقيقة والمواد المتقدمة.
المصدر: موسوعة المعرفة
تم نسخ الرابط
من الموسوعــة