تنميش البلازما أداة تُنتج بلازما من غازات مثل الأكسجين أو الفلور بترددات راديوية حوالي ١٣.٥٦ ميجاهرتز لتشكيل أو إزالة طبقات على رقائق السيليكون تحت فراغ وضغط منخفض؛ تُستخدم لإنشاء وإزالة ثاني أكسيد السيليكون انتقائياً في الطباعة الحجرية الضوئية، ولإزالة بقايا المقاوم وتنظيف وتحليل أخطاء الدوائر المتكاملة.