نظام فراغ فائق هو حالة فراغية ضاغطة جداً تتميز بضغط يقارب ١٠٠ نانوباسكال أو أقل، ويُستعمل فيها مضخات تفريغ متقدمة لتحقيق هذه القيم؛ ضمنها يصبح المسار الحر الوسطي لجزيئات الغاز أكبر من نحو ٤٠ كم، ويُطبق في أجهزة علمية مثل مطيافية الكتلة ومسرعات الجسيمات حيث تتطلب التجارب بيئة خالية تقريبًا من الغاز.