فلوريد التنجستن السداسي مركب كيميائي غير عضوي يتكون من التنجستن والفلور، ويتميز بكونه مادة غازية أو متطايرة في ظروف معينة خلافاً لكثير من مركبات الفلزات الثقيلة. يستخدم في عمليات ترسيب التنجستن في الإلكترونيات الدقيقة وصناعة أشباه الموصلات. تكمن أهميته في خواصه التفاعلية وقدرته على نقل عنصر التنجستن إلى الأسطح بدقة، مع ضرورة التعامل معه بحذر بسبب طبيعته الكيميائية النشطة.