الأشعة فوق البنفسجية القصوى نطاق من الإشعاع الكهرومغناطيسي يقع بين الأشعة فوق البنفسجية والأشعة السينية اللينة. تستخدم في تقنيات متقدمة مثل الطباعة الحجرية لصناعة الشرائح الإلكترونية الدقيقة، كما تظهر في فيزياء البلازما والفضاء ودراسة الشمس. وتكمن أهميتها في أنها تمكّن من تصنيع بنى متناهية الصغر وكشف ظواهر عالية الطاقة، رغم الحاجة إلى تجهيزات خاصة بسبب امتصاصها الشديد في الهواء والمواد.